I Simposio de Postgrado 2023. Ingeniería, ciencias e innovación

I SIMPOSIO 2023 DISEÑO Y FABRICACIÓN DE CÁMARA PARA MEDIR RESISTIVIDAD EN MATERIALES SENSORES DE GAS RESUMEN La creciente preocupación mundial por el deterioro del medio ambiente y los riesgos para la salud han estimulado el interés en medios de detección y control de sustancias químicas potencial- mente tóxicas o nocivas para el medio ambiente. Para satisfacer estas demandas se requieren tecnologías cada vez más sofistica- das y portátiles, capaces de funcionar en condiciones adversas y capaces de detectar la creciente gama de especies químicas que se liberan al ambiente. Entre las especies gaseosas de interés se consideran gases tóxicos, de efecto invernadero, compuestos orgánicos volátiles y contaminantes atmosféricos. El presente trabajo muestra el diseño y fabricación de una cá- mara que permita estudiar el comportamiento resistivo de nanopartículas. El diseño de la cámara se realizó mediante si- mulaciones en el software COMSOL Multiphysics® para deter- minar las dimensiones y distribución interior que condiciones de igualdad de presión y velocidad en las muestras. Además, se diseñó y confeccionó el elemento sensor, formado por estruc- turas de electrodos interdigitalizados, donde se deposita el ma- terial sensible, montado junto a un electrodo calefactor, ambos elementos depositados sobre alúmina mediante magnetrón sputtering. Previo al depósito de Pt, se prepararon máscaras de resina sobre la alúmina mediante litografía láser en cámara lim- pia, las que son retiradas por inmersión para dejar expuestos los electrodos de trabajo. Esta configuración permite el control de la temperatura sobre el material sensible y, las medidas de variación de resistencia eléctrica que se correlaciona con la detección de un gas de prue- ba, lo que permite que en un futuro pueda ser controlado por un programa computacional. 1 Dpto. Ingeniería Civil Química, Biotecnología y Materiales, FCFM, Universidad de Chile. *Email: ximena.villa@ug.uchile.cl Ximena Villa B. 1* , Rodrigo Espinoza G. 1 , Dario Zambrano M. 1 Figura 2: Electrodos fabricados por litografía y evaporación de platino Nanotecnología y Materiales Figura 1: Ejemplo del proceso de modelación en COMSOL Multhiphysics Figura 2: Electrodos fabricados por litograAía y evaporación de platino Nanotecnología y Materiales Figura 1: Ejemplo del proceso de modelación en COMSOL Multhiphysics Figura 2: Electrodos fabricados por litograAía y evaporación de platino Figura 1: Ejemplo del proceso de odelación en COMSOL Multhiphysics